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项目背景
随着半导体行业的快速发展,对生产过程中的水质要求日益严格。超纯水作为半导体生产中的关键原料,其品质直接关系到产品的质量和稳定性。本案例以深圳辰达半导体企业为例,介绍其成功应用美固环保超纯水设备的经验。
项目需求
该半导体企业在二极管领域占据重要地位,其生产工艺对超纯水的品质要求极高。具体需求包括:
处理水量达到15吨/小时
水质中金属离子含量低于10PPT级
TOC(总有机碳)低于5PPb
颗粒尺寸小于0.05um
这些指标对于超纯水设备来说是一个巨大的挑战,需要设备具备高效、稳定、可靠的性能。
解决方案
为了满足企业的严苛需求,仟净公司提供了定制化的超纯水设备解决方案。该方案采用先进的EDI(电去离子)出水+抛光树脂工艺,具体流程如下:
原水预处理:原水(自来水或普通蒸馏水)首先进入预处理系统,包括原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器和阻垢剂系统,以去除水中的悬浮物、有机物和微生物等杂质。
双级反渗透系统:预处理后的水进入双级反渗透系统,通过保安过滤器、高压泵和反渗透膜,滤除95%以上的电解质和大分子化合物,包括胶体微粒和病毒等。这一步骤大大延长了后续离子交换柱的使用寿命。
EDI系统:经过反渗透处理的水进入EDI系统,通过电去离子的方式,进一步去除水中的电解质(包括弱电解质),将水的电阻率从0.05~1.0MΩ·cm提高到5~16MΩ·cm。
抛光树脂:最后,水通过无化学析出的核子级抛光树脂,去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质,使水质达到18MΩ·cm以上,满足企业的严格要求。
终端超滤:作为整套系统的最后一道防线,终端超滤能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力,确保产出的高纯水不受二次污染。
项目成果
该超纯水设备在运行时实现了超静音、防尘和易安装的特点,大大降低了企业的运维成本。同时,设备具备在线水质监测功能,能够实时监测水质情况并在不合格时及时报警,确保了生产过程的稳定性和可靠性。
通过应用美固环保超纯水设备,该半导体企业不仅提升了生产效率和产品质量,还赢得了市场的广泛认可。其二极管的生产技术达到了前所未有的高度,进一步巩固了企业在行业内的领先地位。
结论
本案例充分展示了美固环保在半导体超纯水设备领域的专业性和可靠性。通过提供定制化的解决方案和高效、稳定的设备性能,美固环保成功帮助半导体企业解决了水质难题,推动了半导体行业的持续发展。